제품 라인업
반도체 평가 장치
[SIRD A300] (SIRD : SCARD : Scanning 염증성 탈분극)는 스트레스 샘플의 광 탄력 효과로 인한 복굴절 영역을 통과하여 스트레스 필드 모니터링을 달성함에 따라 편광 상태 변화를 사용합니다. 웨이퍼 제조 공정에서 발생하는 응력을 모니터링 할 수 있으며 고온 공정에서 웨이퍼에서 발생하는 결함을 모니터링 할 수 있습니다.
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리셉션 시간 : 평일 9 : 00-17 : 30 (토요일, 일요일, 휴일 및 휴일 제외